🏭Зеленоградский завод «Микрон» (группа «Элемент») выиграл тендер Минпромторга на разработку российской автоматизированной установки «Лучник» для измерения рассовмещения топологических слоёв при производстве микросхем. Контракт оценивается в 1,56 млрд рублей, завершить работы нужно до июля 2029 года. «Лучник» задуман как отечественный аналог ARCHER 10 XT от KLA Tencor: работа с пластинами диаметром 150 и 200 мм, нормы до 130 нм, производительность — не менее 75 пластин в час, наличие интерферометров и машинного зрения для быстрой коррекции. Шансы повышает то, что «Микрон» является одновременно разработчиком и будущим пользователем и может тестировать прототипы на действующей 200-мм линии.

Подробно на IXBT